제조사/기업명히시스

주력 업종 및 제품반도체 부품 제조업, 가스 배관형 히팅 클램프

관련분야반도체 공정, CNT, 발열, 히터

간략설명반도체 제조 공정에서 발생하는 가스 파우더 현상을 억제하고, 배관 플랜지의 고온을 유지하는 히팅 장치